๐
์ ์์ ์
๋ปํ์ด ๊ฒ์ ๊ฒฐ๊ณผ
6๊ฐ
๐๋ปํ์ด์ "์ ์์ ์"์ ์ฌ์ฉํ ๋จ์ด๋ 6๊ฐ ์
๋๋ค.
-
์ด์จ์
(ion้)
:
๋ฐฉ์ฌ์ ์ด๋ ์ ์์ ์ ์ด ๋์ ์ผ์ด๋๋ ์ด์จํ ๋๋ฌธ์ ์๊ธฐ๋ ์ใ์ ํ ์์ ์ด์จ.
-
๋ธ๋ผ์ด๊ด
(Braun็ฎก)
:
1์ ๊ธฐ ์ ํธ๋ฅผ ์์์ผ๋ก ๋ฐ๊พธ๋ ์๊ทน์ ๊ด. ์ง๊ณต๊ด์ ์๋ฉด์ ํ๊ด ๋ฌผ์ง์ ๋ฐ๋ฅด๊ณ ์ ์์ ์ ์ถฉ๊ฒฉ์์ผ ์ ๊ธฐ ์ ํธ๋ฅผ ๊ดํ์์ผ๋ก ๋ฐ๊พธ๋ ์ ์๊ด์ผ๋ก, ์ ๊ธฐ์ฅใ์๊ธฐ์ฅ์ ์ธ๊ธฐ์ ๋ณํ์ ๋ฐ๋ผ ์๊ทน์ ์ ๋ฐฉํฅ์ ๋ฐ๊ฟ ์ ์๋๋ก ๋์ด ์๋ค. ์๊ทน์ ์ด ๋ฐ๋์ ๋ฒฝ๋ฉด์ ๋ฟ๋ ์์น๋ฅผ ์กฐ์ ํ๊ฑฐ๋ ๋ณํ์ํฌ ์ ์๊ธฐ ๋๋ฌธ์ ํ
๋ ๋น์ , ์ค์ค๋ก์ค์ฝํ, ๋ ์ด๋ค ๋ฐ์์ ์ด์ฉํ๋ค. 1897๋
์ ๋ธ๋ผ์ด(Braun, K. F.)์ด ๋ฐ๋ช
ํ์๋ค.
2โํ
๋ ๋น์ โ์ ๋น์ ์ ์ผ๋ก ์ด๋ฅด๋ ๋ง. (ํ
๋ ๋น์ : ์ฌ๋ฌผ์ ๊ดํ์ ์ธ ์์ ์ ํ์ ์ค์ด ๋ณด๋ด์ด ์์ ์ฅ์น์ ์ฌํํ๋ ์ ๊ธฐ ํต์ ๋ฐฉ์. ๋๋ ๊ทธ ์์์ ๋ฐ๋ ์์๊ธฐ.)
-
์ ์์ ๋ฆฌ์๊ทธ๋ํผ
(้ปๅญ็ทlithography)
:
๋ฐ๋์ฒด ์ง์ ํ๋ก์ ์ ์กฐ ๊ณผ์ ์์ ํ๋ก ํจํด์ ๊ธฐ๋กํ๋ ๋ฐฉ์. ์ ์์ดใ์ ์ ๋ ์ฆใํธํฅ๊ณ(ๅๅ็ณป)ใ์๋ฃ๋(่ฉฆๆ่บ)๋ก ์ด๋ฃจ์ด์ง๋ฉฐ ํ
์คํ
ใ์ก๋ถ์ํ ๋ํ๋ ๋ฐ์์ ์๊ทน์์ ๋ฐฉ์ถ๋ ์ ์์ ์ ์์ญ kV๋ก ๊ฐ์ํ์ฌ ์ ์ ๋ ์ฆ๋ก ์๋ ดํ๊ณ , ํธ๊ด๊ณ์์ ์ฃผ์ฌํ์ฌ ๋ฏธ์ธํ ํจํด์ ๊ฐ๊ด ์ฌ๋ฃ์ ๋
ธ์ถ(๏คธๅบ)ํ๋ค.
๐
้ป:
๋ฒ๊ฐ ์
ๅญ:
์๋ค ์
็ท:
์ ์
-
์๋ ด ๋ ์ฆ
(ๆถๆlens)
:
1๊ด์ ์ ์๋ ดํ๋ ๋ ์ฆ. ๋ณผ๋ก ๋ ์ฆ ๋ฐ์๊ฐ ์๋ค.
2์ ์ ํ๋ฏธ๊ฒฝ์์ ์ ์์ ์ ๋ชจ์์ ์ํ ์ฌ๋ฃ์ ๋น์ถ๊ธฐ ์ํ ์ ์ ๋ ์ฆ.
๐
ๆถ:
๊ฑฐ๋ ์
ๆ:
๊ฑฐ๋ ๋ ด
๊ฑฐ๋ ์ผ
-
์ ์ ๋น ์ฉ์
(้ปๅญbeam้ๆฅ)
:
์ผ๊ธ์์, ๋์ ์ง๊ณต ์์์ ๊ณ ์ ์ ์์ ์ ์จ์ ๋ฌผ์ง์ ๋ง๋ถ์ด๋ ๊ธฐ์ . ์ฃผ๋ก ์ฐ์ฃผ ๊ณต๊ฐ์์ ์ฐ์ธ๋ค.
๐
้ป:
๋ฒ๊ฐ ์
ๅญ:
์๋ค ์
้:
์ฃผ์กฐํ ์ฉ
ๆฅ:
์ ํ ์
-
์ ์ ๋น ์ฉํด
(้ปๅญbeam้่งฃ)
:
์ผ๊ธ์์, ์ ์์ ์ ์ฌ์ด ์๊ธด ์ด๋ก ๊ธ์์ ๋
น์ด๋ ๋ฐฉ๋ฒ.
๐
้ป:
๋ฒ๊ฐ ์
ๅญ:
์๋ค ์
้:
์ฃผ์กฐํ ์ฉ
่งฃ:
ํ ํด
๐ ๋จ์ด ์ ํฌ๋ฅผ ์ํ ์ ๋ฌผ ์์๋ฅผ ์ด์ด๋ณด์ธ์
โน
๋ง์๋ ์๋ด ๋ชจ์
๐๐ซ๐กแแ
ตแซแแ
ขแผ,แแ
ฅแแ
ตแซ,แแ
ตแแ
จ
๐น๐ฑ๐แแ
ตแจแแ
ฎแฏ
๐ฏ๐๐แแ
ฉแผแแ
ฎแฏ
โน
์์๋๋ฉด ์ธ๋ชจ์๋ ๋ถ์ผ๋ณ ํ์ ๋จ์ด