๐ ๊ทธ๋ฆฌ๋์ ๋ปํ์ด ๊ฒ์ ๊ฒฐ๊ณผ 3๊ฐ
๐๋ปํ์ด์ "๊ทธ๋ฆฌ๋์"๋ฅผ ์ฌ์ฉํ ๋จ์ด๋ 3๊ฐ ์ ๋๋ค.
- ๊ทธ๋ฆฌ๋๊ธ๋ก๊ด (grid glow็ฎก) : ๊ณ์ ๊ธฐ(็นผ้ปๅจ) ๊ตฌ์ค์ ํ๋ ์๊ทน, ์๊ทน, ๊ทธ๋ฆฌ๋์ ์ธ ๊ทน์ ๊ฐ์ง ๋ฐฉ์ ๊ด.
-
๊ทธ๋ฆฌ๋ ํ๋ก
(gridๅ่ทฏ)
:
์ ์ด ๊ทธ๋ฆฌ๋์ ํ๋ผ๋ฉํธ๋ฅผ ๋์ (ๅฐ็ท)์ผ๋ก ์ด์ด์ ๊ทธ๋ฆฌ๋, ์ง๊ณต, ํ๋ผ๋ฉํธ, ๊ทธ๋ฆฌ๋์ ์ฐจ๋ก๋ก ์ ๋ฅ๊ฐ ํ๋ฅด๊ฒ ํ๋ ํ๋ก.
๐ ๅ: ๋์์ฌ ํ ่ทฏ: ๊ธธ ๋ก ๊ธธ ๋ ธ
- ์ด์จ ๊ฒ์ด์ง (ion gauge) : ์ง๊ณต๊ด ์๋ ฅ๊ณ์ ํ๋. ์ผ๊ทน ์ง๊ณต๊ด ์์ ๊ธฐ์ฒด๊ฐ ๋จ์ ์์ผ๋ฉด ์ด์ ์(็ฑ้ปๅญ)์ ์ํ์ฌ ๊ธฐ์ฒด ๋ถ์๊ฐ ์ด์จํํ๋๋ฐ, ์ด๋ ์๊ธด ์์ด์จ์ ์์ ์(้ฐ้ปๅฃ)์ ๊ฐ๊ณ ์๋ ๊ทธ๋ฆฌ๋(grid)์ ๋ชจ์ด๋ฏ๋ก ๋จ์ ์๋ ๊ธฐ์ฒด๊ฐ ๋ง์ผ๋ฉด ๊ทธ๋ฆฌ๋์ ๋ชจ์ด๋ ์์ด์จ ์๋ ๋ง์์ง๋ค. ์ด๋ฌํ ํ์์ ์ํ์ฌ ๊ทธ๋ฆฌ๋์ ์ ๋ฅ์ ์๊ทน ์ ๋ฅ์ ๋น๋ก์จ ์ ๋ฅ ๊ธฐ์ฒด์ ์์ ์ ์ ์๋ค.