๐
๊ฒฝ์ง๋ง
๐๊ตญ์ด ์ฌ์ ๊ฒ์ ๊ฒฐ๊ณผ
2๊ฐ
๐"๊ฒฝ์ง๋ง"๊ณผ ๊ด๋ จ๋ ๋จ์ด๋ 2๊ฐ, ๐๋ปํ์ด์ "๊ฒฝ์ง๋ง"์ ์ฌ์ฉํ ๋จ์ด๋ 9๊ฐ ์
๋๋ค.
๐
๊ฒฝ์ง๋ง
๋ปํ์ด ๊ฒ์ ๊ฒฐ๊ณผ
9๊ฐ
๐"๊ฒฝ์ง๋ง"๊ณผ ๊ด๋ จ๋ ๋จ์ด๋ 2๊ฐ, ๐๋ปํ์ด์ "๊ฒฝ์ง๋ง"์ ์ฌ์ฉํ ๋จ์ด๋ 9๊ฐ ์
๋๋ค.
-
๊ฒฝ๋ง
(็กฌ่)
:
๋๋ง ๊ฐ์ด๋ฐ ๋ฐ๊นฅ์ธต์ ์ด๋ฃจ๋ ๋๊ป๊ณ ํผํผํ ์ฌ์ ์ง ๋ง. ์๋ ๊ฒฝ์ง๋ง ์ธต๊ณผ ๋จธ๋ฆฌ๋ผ์ ์์ ์ธ๋ ๋ผ๋ง์ด ๋ถ์ด์ ๋ ์ธต์ ์ด๋ฃฌ๋ค.
๐
็กฌ:
๊ตณ์ ๊ฒฝ
่:
๊บผํ ๋ง
-
์๋ง
(้ซ่)
:
๋์ ์ฒ์๋ฅผ ๋๋ฌ์ธ๊ณ ์๋ ์ธ ์ธต์ ๋ง. ๋ฐ๊นฅ์ชฝ๋ถํฐ ๊ฒฝ์ง๋ง, ๊ฑฐ๋ฏธ๋ง, ์ฐ์ง๋ง์ด ์๋ค.
๐
้ซ:
๊ณจ์ ์
่:
๊บผํ ๋ง
-
๊ฒฝ๋๋ง
(็กฌ่
ฆ่)
:
๋๋ง ๊ฐ์ด๋ฐ ๋ฐ๊นฅ์ธต์ ์ด๋ฃจ๋ ๋๊ป๊ณ ํผํผํ ์ฌ์ ์ง ๋ง. ์๋ ๊ฒฝ์ง๋ง ์ธต๊ณผ ๋จธ๋ฆฌ๋ผ์ ์์ ์ธ๋ ๋ผ๋ง์ด ๋ถ์ด์ ๋ ์ธต์ ์ด๋ฃฌ๋ค.
๐
็กฌ:
๊ตณ์ ๊ฒฝ
่
ฆ:
๋ ๋
่:
๊บผํ ๋ง
-
๋ฑ๊ณจ๋ง
(๋ฑ๊ณจ่)
:
์ฒ์๋ฅผ ๋๋ฌ์ธ๊ณ ์๋ ์ธ ์ธต์ ์ฌ์ ๋ก ๋ ๋ง. ๋ฐ๊นฅ์ชฝ๋ถํฐ ๊ฒฝ์ง๋ง, ๊ฑฐ๋ฏธ๋ง, ์ฐ์ง๋ง์ด ์์ผ๋ฉฐ ๋๋ฅผ ์ธ๋ ๋๋ง์ผ๋ก ์ด์ด์ ธ ์๋ค.
-
์ฒ์๋ง
(่้ซ่)
:
์ฒ์๋ฅผ ๋๋ฌ์ธ๊ณ ์๋ ์ธ ์ธต์ ์ฌ์ ๋ก ๋ ๋ง. ๋ฐ๊นฅ์ชฝ๋ถํฐ ๊ฒฝ์ง๋ง, ๊ฑฐ๋ฏธ๋ง, ์ฐ์ง๋ง์ด ์์ผ๋ฉฐ ๋๋ฅผ ์ธ๋ ๋๋ง์ผ๋ก ์ด์ด์ ธ ์๋ค.
๐
่:
๋ฑ์ฑ๋ง๋ฃจ ์ฒ
้ซ:
๊ณจ์ ์
่:
๊บผํ ๋ง
-
๋๊ฒฝ์ง๋ง
(่
ฆ็กฌ่ณช่)
:
๋๋ง ๊ฐ์ด๋ฐ ๋ฐ๊นฅ์ธต์ ์ด๋ฃจ๋ ๋๊ป๊ณ ํผํผํ ์ฌ์ ์ง ๋ง. ์๋ ๊ฒฝ์ง๋ง ์ธต๊ณผ ๋จธ๋ฆฌ๋ผ์ ์์ ์ธ๋ ๋ผ๋ง์ด ๋ถ์ด์ ๋ ์ธต์ ์ด๋ฃฌ๋ค.
๐
่
ฆ:
๋ ๋
็กฌ:
๊ตณ์ ๊ฒฝ
่ณช:
๋ฐํ ์ง
่:
๊บผํ ๋ง
-
๋์ฒ์๋ง
(่
ฆ่้ซ่)
:
๋์ ์ฒ์๋ฅผ ๋๋ฌ์ธ๊ณ ์๋ ์ธ ์ธต์ ๋ง. ๋ฐ๊นฅ์ชฝ๋ถํฐ ๊ฒฝ์ง๋ง, ๊ฑฐ๋ฏธ๋ง, ์ฐ์ง๋ง์ด ์๋ค.
๐
่
ฆ:
๋ ๋
่:
๋ฑ์ฑ๋ง๋ฃจ ์ฒ
้ซ:
๊ณจ์ ์
่:
๊บผํ ๋ง
-
์๋์ฒ๋ง
(ๅฐ่
ฆๅคฉๅน)
:
๋๋์ ์๋ ์ฌ์ด ํ์ ์ชฝ์ผ๋ก ์ฒ๋ง ์ง๋ถ์ฒ๋ผ ์ ํ ๋ค์ด๊ฐ ๊ฒฝ์ง๋ง ๋ถ๋ถ.
๐
ๅฐ:
์์ ์
่
ฆ:
๋ ๋
ๅคฉ:
ํ๋ ์ฒ
ๅน:
๋ง ๋ง
-
ํฌํ ๋ ์ง์คํธ
(photoresist)
:
์์ ๋ง์ผ๋ก ๋ง๋ค์ด ๋น์ ์ฌ๋ฉด ๋ด์ฝํ์ฑ(่่ฅๅๆง)์ด ํฐ ๊ฒฝ์ง๋ง(็กฌ่ณช่)์ผ๋ก ๋ณํํ๋ ๊ฐ๊ด์ฑ ์ฌ๋ฃ. ํ๋ฆฐํธ ๋ฐฐ์ ๊ธฐํ, ์ง์ ํ๋กใ๊ณ ๋ฐ๋ ์ง์ ํ๋ก์ ์ ์กฐ, ์ ๋ฌธ ๋ฐ์์ ์ธ์ํ ์ ์ ๋ฐ์์ ์ด๋ค.
๐ ๋จ์ด ์ ํฌ๋ฅผ ์ํ ์ ๋ฌผ ์์๋ฅผ ์ด์ด๋ณด์ธ์
โน
๋ง์๋ ์๋ด ๋ชจ์
๐ฏ๐๐แแ
ฉแผแแ
ฎแฏ
๐๐ซ๐กแแ
ตแซแแ
ขแผ,แแ
ฅแแ
ตแซ,แแ
ตแแ
จ
๐งข๐๐แแ
กแแ
ฎแฏ,แแ
ตแแ
งแจ,แแ
ฅแฏแแ
ต
โน
์์๋๋ฉด ์ธ๋ชจ์๋ ๋ถ์ผ๋ณ ํ์ ๋จ์ด