๐ ์ ์กฐํ๊ธฐ ๋ปํ์ด ๊ฒ์ ๊ฒฐ๊ณผ 5๊ฐ
๐๋ปํ์ด์ "์ ์กฐํ๊ธฐ"๋ฅผ ์ฌ์ฉํ ๋จ์ด๋ 5๊ฐ ์ ๋๋ค.
- ์์ด์๋ฉ์ดํธ๋ฒ (isomateๆณ) : ์์ ์ ๋ถ(๏งๅ)์์ ๋์ ์ฅํ๊ฐ์ ์ฑ๋ถ์ ์ ์กฐํ๊ธฐ ์ํ์ฌ ์ํํ๋ ์์ ์ด์ฑ์ง์ฒดํ๋ฒ(็ฐๆง่ณช้ซๅๆณ).
- ์์ด์๋จธ๋ ์ดํธ๋ฒ (isomerateๆณ) : ์์ ์ ๋ถ(๏งๅ)์์ ๋์ ์ฅํ๊ฐ์ ์ฑ๋ถ์ ์ ์กฐํ๊ธฐ ์ํ์ฌ ์ํํ๋ ์์ ์ด์ฑ์ง์ฒดํ๋ฒ(็ฐๆง่ณช้ซๅๆณ).
- ํด๋ฆฐ ๋ฃธ (clean room) : ๋ฐ๋์ฒด ์์๋ ์ง์ ํ๋ก๋ฅผ ์ ์กฐํ๊ธฐ ์ํ์ฌ ๋ฏธ์ธํ ๋จผ์ง๊น์ง ์ ๊ฑฐํ ์์ ์ค.
-
๊ณต๋ ๋ฉดํ
(ๅ
ฑๅๅ
่จฑ)
:
์ฃผ๋ฅ์ ์ ์กฐ ๋ฉดํ๋ฅผ ๋ฐ์ ๋ ์ฌ๋ ์ด์์ด ์์จ์ ์ผ๋ก ๊ฒฐ์ํ์ฌ ๊ฐ์ ํ์ ๊ตฌ์ญ ์์์ ์ฃผ๋ฅ๋ฅผ ๊ณต๋์ผ๋ก ์ ์กฐํ๊ธฐ ์ํ์ฌ ์ฐ๊ธฐ๋ช
(๏ฆ่จๅ)์ผ๋ก ๋ฐ์ ๋ฉดํ. ์ด๋ฅผ ์ํด์ ๋จผ์ ๊ฐ๋ณ์ ์ธ ๋ฉดํ๋ฅผ ์ทจ์ํ์ฌ์ผ ํ๋ค.
๐ ๅ ฑ: ํจ๊ป ๊ณต ๅ: ๊ฐ์ ๋ ๅ : ๋ฉดํ ๋ฉด ่จฑ: ํ๋ฝํ ํ
-
ํฉ์ฑ ๊ฐ์ค
(ๅๆgas)
:
ํํ ๋ฐ์์ ๊ณต๊ธ ์๋ฃ๋ก ์ฐ๋ ๊ฐ์ค ํผํฉ๋ฌผ. ํํ์์๋ ์ ๊ธฐ ํํฉ๋ฌผ์ ๋ง๋ค๊ธฐ ์ํ ์ผ์ฐํ ํ์์ ์์ ํผํฉ๋ฌผ, ์๋ชจ๋์๋ฅผ ์ ์กฐํ๊ธฐ ์ํ ์์์ ์ง์ ํผํฉ๋ฌผ ๋ฐ์๊ฐ ์๋ค.
๐ ๅ: ํฉํ ํฉ ๆ: ์ด๋ฃฐ ์ฑ